電子制造廠房凈化工程平面分區(qū)：潔凈生產(chǎn)區(qū)、潔凈輔助區(qū)、辦公管理區(qū)、設(shè)備區(qū)

    電子制造無塵室按照工藝要求一般會(huì)分千級(jí)、萬級(jí)或十萬級(jí)，譬如末端工藝的LCD制屏無塵車間。背光屏沖壓無塵車間、組裝無塵車間潔凈度一般設(shè)為萬級(jí)或十萬級(jí)，不需要達(dá)到千級(jí)。總的來說在無塵車間有多種工藝工序時(shí)，可以根據(jù)工藝的不同要求，采用不同的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行建設(shè)，要使電子潔凈室潔凈度等級(jí)達(dá)到相應(yīng)要求,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等都要按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，同時(shí)對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。以電子萬級(jí)無塵室為例，電子制造萬級(jí)無塵室相關(guān)技術(shù)指標(biāo)如下：電子制造廠萬級(jí)無塵室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)；電子制造廠萬級(jí)無塵室溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊無塵車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。電子制造廠無塵室垂直流無塵室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流無塵室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。電子制造廠無塵室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。電子制造行業(yè)萬級(jí)無塵室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值：補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無塵室的送風(fēng)量，保證供給無塵室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m³。電子制造行業(yè)無塵室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。